方年坐在居中位置。
神态轻松自如。
令人不敢忽视。
张学君也想起了两年多前的那次会面,实在没想到再见面时会是这样的光景。
方年目光扫过与会众人:“各位下午好,我是方年,初次见面,请多关照。”
“方总好。”
“方总太客气了。”
“……”
简单的寒暄过后,方年直截了当道:“恕我冒昧,为了不耽误大家更多的时间,我就开门见山了。”
“庐州前沿正在建设一条12寸晶圆测试线,为了配合这条测试线,梼杌这边将全面进军EUV光刻研究,希望大家能给予必要支持。”
此话一出,众人皆愣。
包括梼杌的王院士。
“EUV?”张学君挑了下眉,斟酌着说道,“方总,冒昧问一句,你好像对极紫外情有独钟?”
“理论上只有最尖端光刻需要用到极紫外光刻,DUV(深紫外)借住浸入式方案理论上可以做到7nm光刻,似乎没必要全面进军EUV?”
“……”
在座众人都是懂行人士,纷纷发表了各自的看法。
比如DUV技术积累等等问题。
毕竟梼杌实验室名字里的‘半导体设备’五个字有85%是针对:
集成电路前道制造光刻机。
光刻机其实是个泛称,内里可细分为前道制造、后道封装、应用于TFT(薄膜晶体管)的光刻、应用于中小基底先进光刻等的光刻机。
一般大众认知范围内的光刻机是集成电路前道制造光刻机……
听着大家的不同意见,方年微微一笑:“DUV不是有各位在努力吗?”
“前沿不能白叫前沿这个名字,而且EUV这个领域基本上属于赢家通吃,很符合前沿的目标。”
王院士立马道:“可是ASML的EUV实验机去年就运到了台积电使用。”
“……”
“这个领域需要很庞大的投入。”
“……”
方年当然知道。
他更清楚的是,全球范围内EUV光刻机的差距其实不太大。
要么就是没想过,要么就是放弃了。
唯一一家至死不渝坚持到底的是ASML。
有意思的是,最终水准其实取决于砸钱程度以及对技术整合的程度。
当然,ASML快得很,06年开始投入,去年推出了首台EUV工程原型机,而且还有台积电这个大客户在使用、验证、反馈。
但……
ASML很缺钱,方年曾看过的所有与ASML有关的媒体报道都提到了ASML在2012年7月份发起的客户联合投资计划。
这份计划募集了超过50亿欧元的资金,其中一半用于EUV光刻研发。
且因为始终未实现EUV光刻机的大规模量产,以至于参与这份计划的三星、台积电、英特尔先后减持了股份。
钱这东西,前沿也缺。
但前沿在某种意义上可以不缺钱……
等众人讨论完,方年淡然道:“前沿计划今年内首批投入10亿美元,包括但不限于面向全球收购相关企业、专利授权、研发投入;
明年起的三年内前沿一家的年平均纯研发投入不低于50亿人民币,后续视情况递增。”
会议室为之一静。
方年继续说道:“其次,梼杌会牵头促成一个大的泛技术联合投资管理单元,梼杌只承担其中一部分研发工作和大头资金投入,每个单位做自己最擅长的事情;
比如长光所在光相关工作上努力,比如上微电来做总成。”
“协调前沿来搞定,包括其他单位的出资力度等,各位考虑一二给个答复。”
张学君:“……”
“……”
最后有人弱弱的道:“那DUV呢?”
闻言,方年眼皮微动,面带微笑:“差点忘了,庐州前沿需要一台国产的高精度DUV光刻机来进行实验,最好是实验室产品,各位帮帮忙?”
“……”
张学君斟酌着接过话头:“忙可以帮,有个实验室有台很不好用的90nm DUV光刻机可以免费借给前沿用;
不过……”
“我听闻国外有些个企业啊,喜欢列出几百上千项难题,然后督促科学家不停努力……”
张学君话还没说完,方年笑着望了过去,打断道:“看样子张所消息很灵通啊,对我们前沿内部的一些作风都有了解。”
“其实前沿一般还会拿‘小鞭子’,我想白泽实验室那边会很期待与各位一同加油。”
“……”
张学君:“……”
众人:“……”
wdnmd!
这特么前沿是不当人了是吧?
前沿……
不会真的那么恐怖吧?
我们就是科研狗而已。
心里想着一些乱七八糟的,目光不可避免的望向了居中而坐的年轻人,原本看起来如沐春风的微笑脸庞多少有点恶魔的影子了!
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